特許
J-GLOBAL ID：200903065042492884
欠陥解析方法、チップ分類データ検証方法及びプログラム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-291476
公開番号（公開出願番号）：特開2003-100834
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：
【要約】【課題】 チップ分類データに基づく解析結果の信頼性を高めることができる欠陥解析方法及びチップ分類データ検証方法を得る。【解決手段】 ステップS11において、(新規)欠陥の有無及び(集積回路の)良・不良に基づき、複数のチップを4分類したチップ分類データを取得する。次に、ステップS12において、ステップS11で取得したチップ分類データに基づき、欠陥有りチップ数を無作為抽出数として、全チップから無作為抽出した状況を設定する。その後、ステップS13において、無作為抽出したチップ中に不良品チップが、欠陥有り・不良品チップ数N4に相当する数以上になる確率である、無作為不良確率P(N4)を求める。
請求項（抜粋）：
複数の工程を経て、ウエハ上の複数のチップにそれぞれ集積回路が形成されるデバイスの欠陥解析方法であって、(a)前記複数の工程のうち少なくとも1つの工程それぞれの実行後に欠陥を検出するステップと、(b)前記複数の工程終了後に、前記複数のチップそれぞれの前記集積回路の良・不良を判定するステップと、(c)前記少なくとも1つの工程ごとに、前記複数のチップそれぞれについて所定の識別条件を満足する前記欠陥の有無を判定するステップと、(d)前記少なくとも1つの工程ごとに、前記ステップ(b)による判定結果及び前記ステップ(c)による判定結果の組合せに基づき前記複数のチップを4つに分類したチップ分類データを得るステップと、(e)前記チップ分類データに基づき、前記複数のチップから欠陥チップ相当数を無作為に抽出した場合に欠陥有り・不良チップ相当数以上の不良チップが含まれる確率である無作為不良確率を算出するステップとを備え、前記欠陥チップ相当数は前記ステップ(c)で欠陥有りと判定されたチップ数と同数のチップ数を含み、前記欠陥有り・不良チップ相当数は前記ステップ(c)で欠陥有りと判定されかつ前記ステップ(b)で不良と判定されたチップ数と同数のチップを含み、(f)前記無作為不良確率に基づき前記チップ分類データの採択/棄却を判定し、採択した前記チップ分類データに基づく欠陥解析処理を実行して解析結果を出力するステップをさらに備える、を備える欠陥解析方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 Z
, H01L 21/30 502 V
4M106AA01
, 4M106BA11
, 4M106CA70
, 4M106DJ20
