特許

J-GLOBAL ID：200903065051982312

半導体処理装置及び半導体処理における終点検出方法

発明者： 新福 悟
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-142186
公開番号（公開出願番号）：特開平8-335565
出願日： 1995年06月08日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】 終点検出不能前での処理停止及び発光スペクトル導出窓のクリーニングを効率よく行えるようにして、歩留まりの向上及び作業効率の向上を図る。【構成】 プラズマによるドライエッチング装置における終点検出装置に搭載される演算装置に、エッチング処理時に発生する光の発光強度に応じたレベルの増幅検出信号に変換する検出部からの該増幅検出信号の最大レベルを検出する最大レベル検出手段44と、増幅検出信号の最小レベルを検出する最小レベル検出手段45と、入力された今回の増幅検出信号のレベルと上記最大レベルとの第1の差分及び最大レベルと最小レベルとの第2の差分をそれぞれ演算する減算手段46と、第1の差分が電圧降下量以上の場合にエッチング装置の制御系に処理停止要求信号Ssを出力する処理停止要求手段47と、上記第2の差分が予知値未満の場合に警報駆動回路32に対して警報出力要求信号Saを出力する警報出力要求手段49を設けて構成する。

請求項（抜粋）：

放電により発生するプラズマを用いて半導体を処理する半導体処理装置本体と、該半導体処理装置本体での半導体処理の終点を検出する終点検出手段を有する半導体処理装置において、上記終点検出手段は、上記プラズマによる半導体処理時に発生する光の発光強度に応じたレベルの電気信号に変換する検出部と、上記検出部からの電気信号のレベル変化に基づいて終点を検出し、かつ、上記検出部からの電気信号の所定レベルと一定の条件に基づいて終点検出不能を予測判別する演算手段と、上記演算手段からの終点検出不能を示す信号に基づいて警報を出力する警報出力手段とを有することを特徴とする半導体処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  H01L 21/205

FI (2件)：

H01L 21/302 E ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 処理室内監視装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-154827   出願人：株式会社日立製作所, 日立デバイスエンジニアリング株式会社
• 特開平2-094629