特許
J-GLOBAL ID：200903065103686415
多重ビームレーザ穴あけ加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-149510
公開番号（公開出願番号）：特開2004-249364
出願日： 2003年05月27日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：
【課題】一つのfθレンズを用いて、テレセントリックエラーを抑制して、2個所を同時加工する。【解決手段】第1のレーザビーム10に対して、ガルバノミラー1a、1bを用いた従来の光学系を用いることにより、ガルバノミラーをfθレンズ3に近づけて、テレセントリックエラーを防止する。第2のレーザビーム20に関しては、第2のガルバノミラー系2a、2bで偏向した後に、偏向ビームミキサー30を透過又は反射させて第1のガルバノミラー系とfθレンズ3に入射させることにより、第1のレーザビーム10と合わせて2個所を同時に加工する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1のレーザビームを固定された鏡により反射し、第1のガルバノミラー系とfθレンズにより集光かつ位置決めして穴あけ加工を行うレーザ穴あけ加工装置において、
前記固定された鏡を偏光ビームミキサーとし、
第1のレーザビームをS偏光として反射させ、
第2のP偏光としたレーザビームを第2のガルバノミラー系により偏向させて前記偏光ビームミキサーの裏側から透過させ、第1のガルバノミラー系と前記fθレンズにより集光かつ位置決めすることにより、
第1と第2のレーザビームの両方のビームを用いて同時に2個所の加工を行うレーザヘッドを有することを特徴とする多重ビームレーザ穴あけ加工装置。
IPC (3件)：
B23K26/00
, B23K26/06
, G02B26/10
B23K26/00 330
, B23K26/06 A
, B23K26/06 C
, G02B26/10 B
2H045AB01
, 2H045BA12
, 2H045BA26
, 2H045BA34
, 2H045CA64
, 2H045DA11
, 2H045DA31
, 4E068AF00
, 4E068CA03
, 4E068CA08
, 4E068CB08
, 4E068CD02
, 4E068CD04
, 4E068CD11
, 4E068CE03
, 4E068DA11
