焼結性レジスト組成物及びマイクロ構造体の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：安富康男 , 諸田勝保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-118640
公開番号（公開出願番号）：特開2009-271101
出願日： 2008年04月30日
公開日（公表日）： 2009年11月19日
要約：

【課題】優れた熱分解性及び感光性を有し、充分な膜厚を有する被膜を形成することが可能な焼結性レジスト組成物を提供する。また、該焼結性レジスト組成物を用いたマイクロ構造体の製造方法を提供する。【解決手段】マイクロ構造体の製造に用いられる焼結性レジスト組成物であって、(メタ)アクリル樹脂、光重合開始剤及び有機溶剤を含有し、上記(メタ)アクリル樹脂の含有量が20〜50重量%であり、上記(メタ)アクリル樹脂は、分岐構造を有する(メタ)アクリレートに由来するセグメントを40〜90重量%、及び、両末端が(メタ)アクリレートで変性されたポリオキシアルキレンエーテルオリゴマーに由来するセグメントを4〜20重量%含有する焼結性レジスト組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

マイクロ構造体の製造に用いられる焼結性レジスト組成物であって、 (メタ)アクリル樹脂、光重合開始剤及び有機溶剤を含有し、前記(メタ)アクリル樹脂の含有量が20〜50重量%であり、前記(メタ)アクリル樹脂は、分岐構造を有する(メタ)アクリレートに由来するセグメントを40〜90重量%、及び、両末端が(メタ)アクリレートで変性されたポリオキシアルキレンエーテルオリゴマーに由来するセグメントを4〜20重量%含有することを特徴とする焼結性レジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/033 , G03F 7/028 , G03F 7/004 , G03F 7/40

FI (4件)：

G03F7/033 , G03F7/028 , G03F7/004 501 , G03F7/40 501

Fターム (20件)：

2H025AA01 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC43 , 2H025BJ04 , 2H025CA07 , 2H025CA34 , 2H025CB14 , 2H025CB30 , 2H025CB55 , 2H025FA15 , 2H025FA29 , 2H096AA30 , 2H096BA06 , 2H096EA02 , 2H096GA03 , 2H096HA01 , 2H096JA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

インクジェットプリントヘッドの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-280231 出願人：三星電子株式会社

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