パターン評価方法および該方法を用いたデバイス製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：社本一夫 , 千葉昭男 , 星野修 , 神田藤博 , 内田博 , 宮前徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-138956
公開番号（公開出願番号）：特開2004-342899
出願日： 2003年05月16日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【課題】ウェーハのパターン評価をする試料室の出入口となるゲートバルブ作動時の振動が、ウェーハをロードする際の精度に悪影響を与えないようにする。【解決手段】ゲートバルブ9を開き、予備室2内のロボット6の搬送アーム7によって予備室3内にあるウェーハ5を予備室2内へ持ち込む。ゲートバルブ9を閉め、試料室1への出入口となるゲートバルブ8を開ける。搬送アーム7によってウェーハ5を試料室1内の静電チャック10に載せる。ウェーハ5に負電圧を印加して静電チャック10に固定する。ウェーハ5が静電チャック10に固定された後に、ゲートバルブ8を閉じる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電子線を用いてウェーハ等の試料のパターン評価を行なう方法であって、 a.電子線を照射してパターン評価を行なう試料室と、試料をロードおよびアンロードするための予備室と、試料室と予備室とを仕切るゲートバルブと、試料を搬送するために予備室内に設けられた搬送アームと、試料を固定するために試料室内に設けられた静電チャックと、試料に印加するための負電圧電源とを有する装置において、ゲートバルブを開き、搬送アームを用いて試料を予備室内から取り出し、ゲートバルブを通して試料室内の静電チャックに載せるステップと、 b.静電チャックの電極が接地あるいは所定の電圧が印加されている状態で、試料に負電圧を印加して静電チャックに固定するステップと、 c.試料が静電チャックに固定された後、搬送アームを試料室からゲートバルブを通して予備室側へ引き出すステップと、 d.ゲートバルブを閉じるステップと、 e.ゲートバルブを閉じる時に生じた振動が十分小さくなった後に、試料に電子線を照射し、バターン評価を開始するステップと、から成り、bのステップはdのステップより先行することを特徴とするパターン評価方法。

IPC (1件)：

H01L21/66

FI (1件)：

H01L21/66 J

Fターム (5件)：

4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA39 , 4M106DH24 , 4M106DJ02

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平2-106036
基板保持機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-252496 出願人：日本電子株式会社

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