特許

J-GLOBAL ID：200903063945568868

基板保持機構

発明者： 宮 尾 裕 文
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-252496
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077180
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 チャック面に接触しないようにウエハを静電チャックプレートのチャック面上で移動させる。【解決手段】 電極18とチャック面の間の肉厚部内に、直方体状の穴41A,41B,41Cを開け、各穴に、軸43A,43B,43Cを支点として、基準位置から位置決め位置へのウエハの移動方向に傾斜する様に、各軸付き位置決め補助レバー42A,42B,42Cを取り付ける。該補助レバーは、基準位置にある時に少し左傾きになり、その球面体部のウエハ接触部とチャック面との距離がDaとなり(この時、ウエハ3のノッチ37と固定ピン24との距離がDbある)、ウエハ3を押圧してウエハ3のノッチ37が固定ピン24に完全に接触した時に、球面体部のウエハ接触部とチャック面との距離がほぼ0となる様に取り付けられる。

請求項（抜粋）：

基板を静電吸着によりチャックする面を有する静電チャック体のチャック面に1個以上の固定ピンを設け、この固定ピンに基板のノッチ/オリフラを接触させた状態で基板を前記チャック面に静電吸着させるように成した基板保持機構において、その取り付け軸を支点として傾斜可能に成し、基板のセット時にその基板接触部が前記チャック面から上方に出る様に傾斜され、該基板接触部が前記チャック面から上方に出た状態を保って一定方向に傾斜角度を変えていき、基板のノッチ/オリフラが前記固定ピンに接触した時に前記基板接触部が前記チャック面とほぼ面一になるように成した補助レバーを静電チャック体に設けた基板保持機構。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

H01L 21/68 M ,  H01J 37/20 A ,  H01J 37/20 D ,  H01L 21/66 J

Fターム (23件)：

4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB05 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ03 ,  4M106DJ07 ,  5C001AA01 ,  5C001AA02 ,  5C001AA05 ,  5C001CC04 ,  5C001DD01 ,  5F031CA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA33 ,  5F031HA57 ,  5F031KA03 ,  5F031KA14 ,  5F031KA17 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33 ,  5F031NA05 ,  5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ウエハ位置決め装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-354029   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-199654
  
• 回転式基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-164660   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• ウエハの位置決め装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-248827   出願人：松下電器産業株式会社