特許
J-GLOBAL ID：200903065121819872
特に結晶質皮膜を沈積する方法ならびにその方法を実施する装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小島 高城郎
, 河合 典子
, 佐藤 卓也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-546789
公開番号（公開出願番号）：特表2004-514642
出願日： 2001年10月27日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：
【課題】有機金属の分解生成物の分解は導入領域においてのみ実施され、沈積領域における分解生成物のガス相の分圧(消耗)はほぼ直線的な経過を維持させる。【解決手段】特に結晶質皮膜を、CVD反応炉の処理室(1)において特に結晶質の基板に沈積するため、少なくとも第1(G1)および第(G2)の反応ガスが互いに分離された導管(6、7)を通って処理室(1)の入口領域(E)におけるガス出口領域(8、9)に導かれ、ガス出口領域(8、9)は処理室床(2)および処理室天井(3)の間に上下に設けられて異なる高さ(H1、H2)を有しており、第1の反応ガス(G1)は場合によっては搬送ガス(T1)と共に処理室床(2)に隣接するガス出口領域(9)から流出し、処理室床(2)から離れたガス出口(9)から流出する第2の反応ガス(G2)は少なくとも搬送ガス(T2)と混合され、ガス流のパラメータは、第2の反応ガス(G2)はほぼ入口領域(E)において熱分解され、分解生成物は入口領域(E)の下流部分に配置された沈積領域(D)で、ガス(G1、G2、T1、T2)の流れの方向に対し横方向に処理室床(2)に置かれた基板(4)に拡散し、第1の反応ガス(G1)の分解生成物と共に皮膜に凝縮するように選定される方法である。長い沈積領域の場合においても、有機金属の分解生成物の分解は入口領域においてのみ実施され、沈積領域における分解生成物のガス相の分圧(消耗)はほぼ直線的な経過を維持させるため、本発明は第2の反応ガス(G2)と混合される搬送ガス(T2)の動粘度を、特に動粘度が著しく異なる2種類のガス(T2’、T2’’)を混合することによって、ほぼ等しい平均ガス速度において両方のガス出口領域(8、9)におけるレイノルズ数(R1、R2)の商がほぼ1になるように調節することを提案している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
特に結晶質皮膜を、CVD反応炉の処理室(1)において特に結晶質の基板に沈積するため、少なくとも第1(G1)および第2(G2)の反応ガスが互いに分離された導管(6、7)を通って処理室(1)の入口領域(E)におけるガス出口領域(8、9)に導かれ、ガス出口領域(8、9)は処理室床(2)および処理室天井(3)の間に上下に設けられて異なる高さ(H1、H2)を有しており、第1の反応ガス(G1)は場合によっては搬送ガス(T1)と共に処理室床(2)に隣接するガス出口領域(9)から流出し、処理室床(2)から離れたガス出口(9)から流出する第2の反応ガス(G2)は少なくとも搬送ガス(T2)と混合され、ガス流のパラメータは、第2の反応ガス(G2)はほぼ入口領域(E)において熱分解され、分解生成物は入口領域(E)の下流部分に配置された沈積領域(D)で、ガス(G1、G2、T1、T2)の流れの方向に対し横方向に処理室床(2)に置かれた基板(4)に拡散し、第1の反応ガス(G1)の分解生成物と共に皮膜に凝縮するように選定される方法において、
第2の反応ガス(G2)と混合される搬送ガス(T2)の動粘度を、特に動粘度が著しく異なる2種類のガス(T2’、T2’’)を混合することによって、ほぼ等しい平均ガス速度において両方のガス出口領域(8、9)におけるレイノルズ数(R1、R2)の商がほぼ1になるように調節することを特徴とする方法。
IPC (3件)：
C30B25/14
, C23C16/455
, H01L21/205
C30B25/14
, C23C16/455
, H01L21/205
4G077AA03
, 4G077BE43
, 4G077BE44
, 4G077BE46
, 4G077DB08
, 4G077EG21
, 4G077EG25
, 4G077TB05
, 4G077TC01
, 4G077TG04
, 4G077TH06
, 4K030AA05
, 4K030AA08
, 4K030AA11
, 4K030AA17
, 4K030AA18
, 4K030CA04
, 4K030CA12
, 4K030EA05
, 4K030EA06
, 4K030FA10
, 4K030GA09
, 4K030HA15
, 4K030JA05
, 4K030JA12
, 4K030KA16
, 4K030LA14
, 5F045AA04
, 5F045AB10
, 5F045AB11
, 5F045AB12
, 5F045AC01
, 5F045AC15
, 5F045AC18
, 5F045DP14
, 5F045DP27
, 5F045EB02
, 5F045EC08
, 5F045EF07
, 5F045EF09
, 5F045EM10
