溶液の塗布方法及び塗布装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 村松貞男 , 橋本良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-049652
公開番号（公開出願番号）：特開2004-255316
出願日： 2003年02月26日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：

【課題】この発明は基板にインクジェット方式で塗布した溶液を平坦化することができるようにした溶液の塗布方法を提供することにある。【解決手段】基板に溶液をインクジェット方式によって塗布する溶液の塗布方法において、上記基板の上記溶液が塗布される板面を励起処理する工程と、上記基板の励起処理された板面に上記溶液をインクジェット方式によって塗布する工程とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に溶液をインクジェット方式によって塗布する溶液の塗布方法において、上記基板の上記溶液が塗布される板面を励起処理する工程と、上記基板の励起処理された板面に上記溶液をインクジェット方式によって塗布する工程とを備えたことを特徴とする溶液の塗布方法。

IPC (8件)：

B05D3/04 , B05B1/26 , B05C9/10 , B05D1/02 , G02F1/13 , G02F1/1337 , G09F9/00 , H01L21/027

FI (8件)：

B05D3/04 B , B05B1/26 Z , B05C9/10 , B05D1/02 E , G02F1/13 101 , G02F1/1337 , G09F9/00 342Z , H01L21/30 564Z

Fターム (45件)：

2H088FA18 , 2H088FA20 , 2H088FA30 , 2H088HA03 , 2H088MA18 , 2H090HB08Y , 2H090HC05 , 2H090HC10 , 2H090HC16 , 2H090HC18 , 2H090JC06 , 4D075AC06 , 4D075AC09 , 4D075AC77 , 4D075AC88 , 4D075AC93 , 4D075BB44X , 4D075BB46X , 4D075BB49X , 4D075BB70X , 4D075BB81X , 4D075BB91X , 4D075CA13 , 4D075CA35 , 4D075CA47 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DC19 , 4D075DC21 , 4D075DC24 , 4D075EA07 , 4D075EA45 , 4D075EB39 , 4F033AA14 , 4F033EA05 , 4F033JA06 , 4F033JA07 , 4F042AA07 , 4F042DA03 , 5F046JA02 , 5G435AA17 , 5G435HH18 , 5G435HH20 , 5G435KK05 , 5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (4件)

カラーフィルタの製造方法及びそれを用いた液晶表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-038405 出願人：旭硝子株式会社
カラーフィルタ及びその製造方法並びにそれを用いた液晶表示装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-313162 出願人：松下電器産業株式会社
水系分散用顔料及び水性顔料分散液
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-188355 出願人：株式会社関西新技術研究所

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