特許

J-GLOBAL ID：200903065203290101

アレイ状電界放射冷陰極とその製造方法

発明者： 巻島 秀男
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-287725
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148080
出願日： 1994年11月22日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】アレイ状電界放射冷陰極ならびにこの陰極を装備した電子デバイスの製造工程中に受ける塵埃等の汚染による絶縁抵抗や絶縁耐圧の低下を防ぎ、陰極の信頼性寿命を改善する。【構成】ゲート開口の中に膜堆積法によってエミッタ5を形成する陰極や基板1のエッチングによって形成したエミッタ5の上に形成したマスクを介して絶縁層2、ゲート電極3の層を堆積する陰極において、少なくともエミッタ5の下部と絶縁層2の側面部に共通の絶縁膜6を形成する。この絶縁膜6を形成するため、減圧CVD法あるいはSOG技術を使用する。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板の上にエッチング法によって形成し、先端を先鋭化した電子放出電極と、前記電子放出電極とその付近を除いて前記基板の上に形成した絶縁層と、前記電子放出電極を取り囲む開口を持つ制御電極とから成る複数の微小冷陰極から構成されたアレイ状電界放射冷陰極において、少なくとも、絶縁層の側壁と、電子放出電極の基板付近とを絶縁膜で被覆したことを特徴とするアレイ状電界放射例陰極。

IPC (2件)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 電界放出素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-153451   出願人：凸版印刷株式会社