特許

J-GLOBAL ID：200903065205019383

試料台

発明者： 西坂 浩彰
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-194874
公開番号（公開出願番号）：特開平8-045909
出願日： 1994年07月26日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】 試料の面内温度分布を自在に制御することができる試料台を提供すること。【構成】 複数の温度制御ブロック11に分割した本体10を備えた試料台1であり、その本体10の上面を上記複数の温度制御ブロック11の上面によって構成したものである。

請求項（抜粋）：

複数の温度制御ブロックに分割した本体を備え、前記本体の上面を、前記複数の温度制御ブロックの上面によって構成したことを特徴とする試料台。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 半導体ウエハー加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-321996   出願人：日本碍子株式会社
• 特開昭63-169729
  
• 特開昭63-169729