荷電粒子測定装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：岸田正行 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-400026
公開番号（公開出願番号）：特開2003-194954
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】正確な荷電粒子の種類と精度の良いエネルギーの弁別を行うこと、高エネルギーの荷電粒子の精度の良い測定を可能とすること及び測定装置の故障を検出して、故障に対応したモードで観測を継続することを課題とする。【解決手段】第1の検出器からの出力を第1のアドレスとし、複数の検出器で構成する第2の検出器からの出力を第2のアドレスとし、第3の検出器からの出力を当該荷電粒子が上記第2の検出器を貫通したか否かの情報として利用し、測定する荷電粒子の損失エネルギー特性を上記2次元のアドレスで表し、該荷電粒子の損失エネルギーを測定した回数を上記2次元のアドレス毎に計数するようにし、更に、上記第1乃至第3の検出器を構成する検出器系に故障が発生した場合、故障が発生した当該検出器を除いた測定モードを設けて測定を継続するようにした。

請求項（抜粋）：

荷電粒子が入射する方向から第1の検出器、複数個の検出器から構成する第2の検出器、及び第3の検出器を配設し、上記第1の検出器からの出力を第1のアドレスとし、上記第2の検出器を構成する複数個の検出器からの出力を第2のアドレスとし、測定する荷電粒子の種類毎の損失エネルギー特性を2次元のアドレスであらわし、該2次元のアドレスと第3の検出器からの出力の有無を用いて荷電粒子の種類毎の損失エネルギー特性を測定する荷電粒子測定装置において、測定する荷電粒子の種類ごとの損失エネルギー特性を上記2次元のアドレスであらわし、該アドレスに荷電粒子の損失エネルギーを測定した回数を計数する第2の書込み読出しメモリを設けるとともに、上記第1の検出器、及び/又は複数個の検出器で構成する第2の検出器、及び/又は第3の検出器の何れか1個または複数個が故障した場合、該故障した検出器を除いて第1の検出器乃至第3の検出器の組合せを設定した複数のモードを設け、測定する各荷電粒子の種類ごとの損失エネルギー特性を上記複数のモードごとに2次元のアドレスであらわし、該2次元のアドレスであらわされた各荷電粒子の種類ごとの損失エネルギー特性に沿って区分した複数の区画の夫々に与えた区画番号を記憶した読出し専用メモリを設け、上記モードに対応した読出し専用メモリの区画番号の示すアドレスを用いて、各荷電粒子の損失エネルギーを測定した回数を計数する第1の書込み読出しメモリを設け、該第1の書込み読出しメモリ及び上記第2の書込み読出しメモリからの出力を用いて荷電粒子の種類の弁別とエネルギーを測定する様にしたことを特徴とする荷電粒子測定装置。

IPC (3件)：

G01T 1/38 , G01T 1/29 , G01T 7/00

FI (3件)：

G01T 1/38 , G01T 1/29 C , G01T 7/00 C

Fターム (16件)：

2G088EE30 , 2G088FF01 , 2G088FF06 , 2G088FF15 , 2G088FF20 , 2G088GG21 , 2G088JJ03 , 2G088JJ36 , 2G088KK01 , 2G088KK05 , 2G088KK15 , 2G088KK24 , 2G088KK29 , 2G088KK40 , 2G088LL05 , 2G088LL30

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