特許

J-GLOBAL ID：200903065217740789

スパッタイオンポンプ

発明者： 小谷 剛 ,  平澤 和寿 ,  金原 浩之 ,  西山 正明 ,  藤野 浩一 ,  中嶋 克次 ,  高木 望 ,  沈 国華
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-180547
公開番号（公開出願番号）：特開平8-022803
出願日： 1994年07月08日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】[目的] ベークアウト時における熱エネルギーロスが小さく、かつ耐熱性の磁石を必要とせず、通常グレードの磁石を使用してベークアウトの度毎に取り外す必要のないスパッタイオンポンプを提供すること。[構成] 陰極1、2と陽極3を内蔵するポンプケーシング4と永久磁石のN極15、S極16との間に空気層18、18’を介在させ、ベークアウト時における永久磁石5、6の温度上昇を抑制する。または、ポンプケーシングと永久磁石5、6との間に断熱材21を介在させる。

請求項（抜粋）：

陰極と陽極とを内蔵するポンプケーシングと、該ポンプケーシングの外壁に取り付けられ、該ケーシング内に磁界を形成させる磁石とを備え、真空下、前記磁界中での直流放電を利用するスパッタイオンポンプにおいて、前記ポンプケーシングと前記磁石との間に空気層を介在させたことを特徴とするスパッタイオンポンプ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• スパッタイオンポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-112424   出願人：日電アネルバ株式会社
• 特開昭51-107510
  
• 特開昭61-143932