特許

J-GLOBAL ID：200903065218687660

プローバー装置

発明者： 加藤 隆
出願人/特許権者： 山形日本電気株式会社
代理人 (1件)： 菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-036122
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233573
出願日： 1998年02月18日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】 不良発生時におけるプローバ装置の不要な停止を低減する。【解決手段】 制御部9は、各品種毎に不良項目を指定し、電気的試験において不良項目検知器10が指定した不良が発生した場合に、不良判定を行なわずに、段階的にオーバードライブ量を変化させて再試験を行なう。

請求項（抜粋）：

検知器と、制御部とを有し、プローブカードのプローブ先端を半導体ウェーハの電極に電気的に接触させて該半導体ウェーハの電気的試験を行なうプローバー装置であって、前記検知器は、半導体ウェーハの電気的試験にて不良となったときの不良項目を検知するものであり、制御部は、前記検知器が検知した不良項目の判定を行ない、その不良項目が指定した不良項目である場合に直ちに不良判定を行なわずに、プローブカードのプローブ先端と半導体ウェーハの電極との接触状態を改善する指令を発するものであることを特徴とするプローバー装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/28 K

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-225178
  
• ウェハテスト方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-125060   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平4-022149