特許

J-GLOBAL ID：200903065249826669

レーザ測長システム及び露光装置

発明者： 藤原 朋春
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-279890
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043300
出願日： 2003年07月25日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：

【課題】 レーザ光源の温度をより厳密に制御できるレーザ測長システムを提供する。 【解決手段】 レーザ測長ユニット1は、レーザ測定光を生成して射出するレーザ光源ユニット10と、レーザ光源ユニット10に温度調整用の熱媒体を供給する熱媒体供給装置30と、を備える。レーザ光源ユニット10には複数の温度センサ21が備えられている。温度センサ21が取り付けられたレーザ光源ユニット10内の各箇所のうち、熱媒体供給装置30から供給される熱媒体の温度に対する応答性が最もよい箇所の温度が温度制御装置47に入力され、この温度を基にして、温度調節装置45によって熱媒体供給配管41内の熱媒体の温度を調整する。これにより、レーザ光源ユニット10の温度を厳密に制御することができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

平面鏡に対してレーザ測定光を射出し、該レーザ測定光が前記平面鏡で反射した反射光と参照光とを干渉させて、前記平面鏡の基準位置に対する距離を測長するレーザ測長システムであって、 前記レーザ測定光を生成して射出するレーザ光源ユニットと、 該レーザ光源ユニットの複数箇所の温度を計測する温度センサと、 該レーザ光源ユニットに温度調整用の熱媒体を供給する熱媒体供給装置と、を備えることを特徴とするレーザ測長ユニット。

IPC (5件)：

G01B9/02 ,  G01B11/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01S3/041

FI (5件)：

G01B9/02 ,  G01B11/00 G ,  G03F7/20 521 ,  H01S3/04 G ,  H01L21/30 516B

Fターム (47件)：

2F064AA02 ,  2F064AA06 ,  2F064AA15 ,  2F064BB01 ,  2F064CC08 ,  2F064DD02 ,  2F064DD08 ,  2F064EE01 ,  2F064FF01 ,  2F064FF05 ,  2F064FF10 ,  2F064GG12 ,  2F064GG21 ,  2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA06 ,  2F065AA31 ,  2F065BB01 ,  2F065BB15 ,  2F065BB25 ,  2F065CC17 ,  2F065EE01 ,  2F065FF52 ,  2F065FF55 ,  2F065FF69 ,  2F065FF70 ,  2F065GG05 ,  2F065GG22 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  2F065NN00 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065UU01 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5F046DB05 ,  5F072AA02 ,  5F072AA06 ,  5F072HH02 ,  5F072MM09 ,  5F072TT01 ,  5F072TT16 ,  5F072TT29 ,  5F072YY09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-059602
  
• 固体レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-185966   出願人：有限会社サイファー社
• 位置決め装置、露光装置、露光方法およびデバイス製造方法ならびにデバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-174958   出願人：株式会社ニコン
• 特開平2-059602