特許

J-GLOBAL ID：200903065259796938

平面研磨装置

発明者： 富川 則之 ,  山口 幸男 ,  佐藤 誠
出願人/特許権者： 株式会社ノリタケカンパニーリミテド
代理人 (1件)： 池田 治幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-334085
公開番号（公開出願番号）：特開2001-150338
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】 ワークを自転および公転させて研磨するに際してそのワークが安定して自転させられる平面研磨装置を提供する。【解決手段】 公転軌跡Kに沿って平行移動させられる公転部材82に設けられたワーク自転駆動装置22により、ワーク34が保持されたワーク保持部材20がその自転軸心Aまわりの回転が可能に把持されるので、上記公転部材82が公転軌跡Kに沿って平行移動させられる過程で研磨定盤14の回転方向Pの方向成分を含む方向へ移動させられるときでも、公転部材82とその公転部材82を把持するローラ86、88、98との間の接触圧が変化せず、自転駆動ローラ86、88との間でスリップが発生しないため、ワーク34の自転が安定となって研磨品質すなわち平坦度が確保される。

請求項（抜粋）：

回転する研磨定盤の研磨加工面に対して摺接させられた状態で保持されたワークを自転させるとともに、該ワークの自転軸心を所定の公転軸心まわりに回転させることにより該ワークの一面を平坦に研磨する平面研磨装置であって、前記自転軸心および公転軸心に平行な軸心まわりに回転可能に設けられ、且つ互いに同期して回転させられる複数個の回転体と、該複数個の回転体にそれぞれ相対回転可能に連結されることにより前記公転軸心まわりの公転軌跡に沿って平行移動させられる公転部材と、該公転部材に設けられ、前記ワークが保持されたワーク保持部材をその自転軸心まわりの回転が可能に把持し、該ワーク保持部材を回転駆動することにより該ワークを自転させるワーク自転駆動装置とを、含むことを特徴とする平面研磨装置。

FI (2件)：

B24B 37/04 B ,  B24B 37/04 E

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058CB01 ,  3C058DA09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• デバイス付きウエーハのプラナリゼーシヨンポリツシング方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-261472   出願人：土肥俊郎, 中川威雄, 河西敏雄, 不二越機械工業株式会社