特許

J-GLOBAL ID：200903065301080794

黒色低熱膨張セラミックス焼結体及びその製造方法

発明者： 菅原 潤 ,  森田 英彦 ,  橋本 克己 ,  野瀬 哲郎
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 岸田 正行 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-183109
公開番号（公開出願番号）：特開2001-019540
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：

【要約】【課題】 黒色の色調を持ち、室温で非常に低熱膨張かつ剛性及び比剛性の高い黒色低熱膨張セラミックス焼結体及びその製造方法を提供する。【解決手段】 化学組成がMgO:8.0〜17.2重量%、Al2O3:22.0〜38.0重量%、SiO2:49.5〜65.0重量%、遷移元素の1種又は2種以上:酸化物換算で合計0.1〜2重量%、Li2O:0〜2.5重量%の範囲内にあり、化学組成の重量比が(SiO2-8×Li2O)/MgO≧3.0、(SiO2-8×Li2O)/Al2O3≧1.2であることを特徴とする黒色低熱膨張高比剛性セラミックス焼結体。

請求項（抜粋）：

室温における熱膨張係数の絶対値が0.6×10-6/°C以下、弾性率(ヤング率)が100GPa以上、比剛性(ヤング率/比重)が40GPa・cm3/g以上であり、その焼結体の色調が黒色であることを特徴とする黒色低熱膨張高比剛性セラミックス焼結体。

IPC (4件)：

C04B 35/195 ,  C04B 35/64 ,  C04B 35/645 ,  G11B 5/31

FI (5件)：

C04B 35/16 A ,  G11B 5/31 M ,  C04B 35/64 A ,  C04B 35/64 N ,  C04B 35/64 302 Z

Fターム (30件)：

4G030AA02 ,  4G030AA07 ,  4G030AA20 ,  4G030AA22 ,  4G030AA25 ,  4G030AA27 ,  4G030AA28 ,  4G030AA29 ,  4G030AA31 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030BA13 ,  4G030BA14 ,  4G030BA18 ,  4G030BA24 ,  4G030CA01 ,  4G030GA03 ,  4G030GA04 ,  4G030GA08 ,  4G030GA23 ,  4G030GA24 ,  4G030GA26 ,  4G030GA29 ,  4G030HA04 ,  4G030HA12 ,  4G030HA16 ,  4G030HA17 ,  4G030HA18 ,  4G030HA25 ,  5D033DA21

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-210060
  
• 低熱膨張黒色セラミックス及びその製造方法、並びに半導体製造装置用部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-149384   出願人：京セラ株式会社