特許
J-GLOBAL ID：200903015223140591
低熱膨張黒色セラミックス及びその製造方法、並びに半導体製造装置用部材
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-149384
公開番号（公開出願番号）：特開平11-343168
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】低熱膨張を有するとともに、気孔が少ない緻密質でかつ黒色の低熱膨張セラミックスを得る。【解決手段】コージェライトを80重量%以上、望ましくは希土類元素を酸化物換算で1〜20重量%含有する組成の原料粉末を酸素分圧0.2気圧以下のカーボン雰囲気下で1000°C〜1400°Cの温度で100kg/cm2 以上の加圧下で焼成し、気孔率が0.5%以下、特に最大ボイド径5μm以下、カーボン含有量0.1〜2.0重量%、10〜40°Cにおける熱膨張係数1×10-6/°C以下の緻密質黒色低熱膨張セラミックスを得、この緻密質黒色低熱膨張セラミックスを特に露光用ブラインドや鏡筒などの遮光性部材や、露光装置用真空チャック、ステージ位置測定ミラーなどの半導体製造装置用部品に適用する。
請求項（抜粋）：
コージェライトを80重量%以上含有し、気孔率が0.5%以下、カーボン含有量0.1〜2.0重量%、10〜40°Cにおける熱膨張係数1×10-6/°C以下であることを特徴とする低熱膨張黒色セラミックス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B 35/16 A
, H01L 21/68 N
