特許

J-GLOBAL ID：200903065304155698

照明装置及びそれを用いた投影露光装置

発明者： 辻 俊彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-342187
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162837
出願日： 1997年11月27日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 被照射面を照明光束の有効利用を図りつつ、均一に照明することができ、半導体デバイスの製造に好適な照明装置及びそれを用いた投影露光装置を得ること。【解決手段】 光源と、光源からの光束を複数の光束に分割する光束分割素子と、光束分割素子から一定の発散角度で発散した複数の光束を各々混合し、該発散角度に応じた角度で射出する光パイプを複数個、束ねた光束混合手段と、該光束混合手段からの複数の光束で照射面を照明する光学手段を有していること。

請求項（抜粋）：

光源と、光源からの光束を複数の光束に分割する光束分割素子と、光束分割素子から一定の発散角度で発散した複数の光束を各々混合し、該発散角度に応じた角度で射出する光パイプを複数個、束ねた光束混合手段と、該光束混合手段からの複数の光束で照射面を照明する光学手段を有していることを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 照明光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-211220   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-225214
  
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-258049   出願人：株式会社ニコン
• 特開平1-165187