特許
J-GLOBAL ID：200903065316152805
基板温度制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 敏夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-345012
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176494
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 パイロメータを用いた基板温度制御装置において、高温の蒸発源からの熱輻射に影響されない基板温度制御装置を提供すること。【構成】 基板2の温度を測定するパイロメータ3と、パイロメータからの測定値が与えられ、かつ基板2の温度を制御する温度制御器4と、温度制御器4からの温度制御信号を記憶するメモリ13と、外部信号によって動作する切り替えスイッチ18とを備え、切り替えスイッチ18の動作によって温度制御器4にパイロメータ3からの信号あるいはメモリ13からの信号のいずれかを与えるようにした基板温度制御装置。
請求項（抜粋）：
基板の温度を測定するパイロメータと、前記パイロメータからの測定値が与えられ、かつ前記基板の温度を制御する温度制御器と、前記温度制御器からの温度制御信号を記憶するメモリと、外部信号によって動作する切り替えスイッチとを備え、前記切り替えスイッチの動作によって前記温度制御器に前記パイロメータからの信号あるいは前記メモリからの信号のいずれかを与えることを特徴とする基板温度制御装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, H01L 21/203
, H01L 21/324
