特許
J-GLOBAL ID：200903065398454570
走査型電子顕微鏡
出願人/特許権者：
株式会社日立製作所
株式会社日立製作所 について
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-190775
公開番号（公開出願番号）：特開2000-021345
出願日： 1998年07月06日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】本発明の目的は、試料移動ステ-ジの耐振性を向上して分解能を高めることのできる走査型電子顕微鏡を提供することにある。【解決手段】往復動式油圧シリンダ103内にポート106aを通して油圧源(図示せず)から油を導入し、その油圧により、ロック軸105をロック板107に押し当てチルトテーブル108の動きを拘束する。ロック軸105の先端にはロック板107との間の摩擦係数が大きい材質で作られた円柱部109が取付けられ、ロック板107と面接触するようになっている。ステージロックの解除は往復動式油圧シリンダ103内にポート106b通して油を導入し、その油圧によりロック軸105を引き戻して行う。これにより、x方向の剛性が大となり、かつy、z方向の摩擦力も大となり、効果的にチルトテーブル108のx、yおよびz方向の振動を押さえることができる。
請求項（抜粋）：
試料室内に配置された試料を移動する試料移動ステージが前記試料をx方向に移動するためのxテーブルと、前記試料を前記x方向と直角をなすy方向に移動するためのyテーブルと、前記試料に傾斜動作を与えるための、前記xテ-ブルおよびyテ-ブルを支持しているチルトテーブルとを含み、前記試料をxy平面と直角をなすz方向の軸をもつ電子ビームで走査し、それによって前記試料から発生する信号を検出して前記試料の像を表示する走査型電子顕微鏡において、前記チルトテーブルを前記x、yおよびz方向において耐振動的に固定するステージロック機構を備えていることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
Fターム (5件)：
引用特許：
Copyright (c) 2009 Japan Science and Technology Agency. All Rights Reserved