特許

J-GLOBAL ID：200903065473617986

封入した黒鉛ヒーター及び方法

発明者： マリナー,ジョン・ティー ,  ヘジル,ティモシー
出願人/特許権者： ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
代理人 (4件)： 松本 研一 ,  小倉 博 ,  伊藤 信和 ,  黒川 俊久
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-546915
公開番号（公開出願番号）：特表2006-504242
出願日： 2003年10月17日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：

黒鉛中に1以上の加熱区画を生み出すための電気加熱回路を形成するように加工されると共に、B、Al、Si、Ga、高融点硬質金属、遷移金属及び希土類金属からなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又はオキシ窒化物或いはこれらの複合体及び/又は組合せの1種以上からなる連続したオーバーコート層で封入された黒鉛物体を含んでなる黒鉛ヒーターであって、電気加熱回路を形成するための加工に先立ち、B、Al、Si、Ga、高融点硬質金属、遷移金属及び希土類金属からなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又はオキシ窒化物或いはこれらの複合体及び/又は組合せの1種以上からなる層で黒鉛物体が被覆される黒鉛ヒーター、並びにかかる黒鉛ヒーターの形成方法。

請求項（抜粋）：

当該電気流路に電気的に接続すべき端子用の末端部を含む電気加熱回路の1以上の区画を画成する電気流路用のパターンをなすように加工された黒鉛物体であって、1以上の加熱面を有する黒鉛物体と、 前記パターン化黒鉛物体を封入する被覆層であって、B、Al、Si、Ga、高融点硬質金属、遷移金属及び希土類金属からなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又はオキシ窒化物或いはこれらの複合体及び/又は組合せの1種以上からなる被覆層と、 前記加熱面上に配設される実質的に連続した表面層であって、B、Al、Si、Ga、高融点硬質金属、遷移金属及び希土類金属からなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又はオキシ窒化物或いはこれらの複合体及び/又は組合せの1種以上からなる表面層と を含んでなるヒーター。

IPC (5件)：

H05B 3/14 ,  C23C 14/06 ,  H01L 21/02 ,  H05B 3/12 ,  H05B 3/74

FI (5件)：

H05B3/14 F ,  C23C14/06 L ,  H01L21/02 Z ,  H05B3/12 B ,  H05B3/74

Fターム (18件)：

3K092PP20 ,  3K092QB15 ,  3K092QB42 ,  3K092QB43 ,  3K092QB44 ,  3K092QB60 ,  3K092QB78 ,  3K092VV06 ,  3K092VV09 ,  3K092VV31 ,  4K029AA04 ,  4K029BA58 ,  4K029BA59 ,  4K029BD00 ,  4K029DB18 ,  4K029DB20 ,  4K029DB21 ,  4K029DD06

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 米国特許第5343022号
  
• 米国特許第6410172号
  

審査官引用 (2件)

• 熱分解窒化ホウ素放射ヒーター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-117191   出願人：アドバンスドセラミックスコーポレイション
• 熱分解窒化ホウ素被覆複層成形体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-160111   出願人：信越化学工業株式会社