特許
J-GLOBAL ID：200903054360621519
熱分解窒化ホウ素被覆複層成形体及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-160111
公開番号（公開出願番号）：特開平8-026863
出願日： 1994年07月12日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】本発明は、熱分解窒化ホウ素被覆層の成膜時に発生する内部応力が原因となって生ずるクラック、剥離等の欠陥を解消した熱分解窒化ホウ素被覆複層成形体で、特にこの被覆成形体が窒化ホウ素基体上にグラファイト層を形成して成る複層成形体の表面に熱分解窒化ホウ素層を成膜して成るヒーター、静電チャック、遮熱板、遮熱円筒及び熱吸収帯付容器及びこれらの製造方法を提供する。【構成】窒化ホウ素より成る基体表面上にグラファイト層を設けて成る複層成形体の表面に熱分解窒化ホウ素層を成膜するに際し、該複層成形体表面の凹凸形状及び端面形状が平面より成る場合は面方向が、又曲面より成る場合はその接線が基体の積層方向とのなす角度を45〜90°とする熱分解窒化ホウ素被覆複層成形体の製造方法及び該熱分解窒化ホウ素被覆複層成形体。
請求項（抜粋）：
窒化ホウ素より成る基体上にグラファイト層を設け、その一部を除去してパターンを形成して成る複層成形体の表面に、熱分解窒化ホウ素層を成膜して成る熱分解窒化ホウ素被覆複層成形体の製造方法において、グラファイト層の除去による凹凸形状及び端面形状が平面より成る場合はその面方向が、又曲面より成る場合はその接線方向が、該基体の積層方向となす角度を45〜90°の範囲とすることを特徴とする熱分解窒化ホウ素被覆複層成形体の製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (6件)
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特開平4-231459
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特開平2-164783
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特開平4-285086
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