特許
J-GLOBAL ID:200903065508466307
干渉装置及び方法並びにプローブ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
後藤 政喜
, 藤井 正弘
, 飯田 雅昭
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-542127
公開番号(公開出願番号):特表2008-520992
出願日: 2005年11月04日
公開日(公表日): 2008年06月19日
要約:
フーリエドメイン光コヒーレンストモグラフィーを行う光干渉装置は、複数のビームを提供する手段を備え、それにより、検査すべき物質内の複数の異なる焦点深度に関して同時にインターフェログラムが記録され、各インターフェログラムは複数のビームのうちの1本により提供される。複数の異なる焦点深度に関して上記インターフェログラムから導出される画像を合成する手段が設けられ、それにより、被写界深度の深い単一の画像が構築され得る。焦点の軸方向の間隔は、検査すべき物質内の焦点のウエストのレイリー領域を考慮するように計算される。
請求項(抜粋):
フーリエドメイン光コヒーレンストモグラフィーを行う光干渉装置であって、
複数のビームを提供する手段を備え、
検査すべき物質内の複数の異なる焦点深度に関して同時にインターフェログラムが記録され、各インターフェログラムは前記複数のビームのうちの1本により提供される、フーリエドメイン光コヒーレンストモグラフィーを行うことを特徴とする光干渉装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (11件):
2G059AA05
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059EE02
, 2G059EE09
, 2G059FF02
, 2G059GG01
, 2G059GG02
, 2G059JJ22
, 2G059JJ30
, 2G059KK04
引用特許:
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