特許
J-GLOBAL ID：200903065510186699
基板冷却装置および構造物冷却装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
吉田 茂明
, 吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-055644
公開番号（公開出願番号）：特開2007-294887
出願日： 2007年03月06日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：
【課題】良好な冷却効率が得られ、しかも冷却中の基板の面内温度分布均一性を維持することができる基板冷却装置を提供する。【解決手段】冷媒の蒸気を圧縮機20によって圧縮して過熱蒸気としてからコンデンサ30によって冷却して凝縮させ、冷媒の過冷却液とする。この過冷却液を膨張弁40を通過させることによって膨張させて減圧し、冷媒の飽和液と飽和蒸気との混合相にする。そして、その混合流体を気液分離器50にて気相と液相とに分離し、コールドプレート10には冷媒の飽和液のみを供給する。コールドプレート10の中空部には冷媒の飽和液のみが充盈されることによって、沸騰熱伝達を十分に利用した良好な冷却効率が得られるとともに、飽和液に圧力差が生じないためにプレート面内の温度分布均一性を維持することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
冷却プレートに載置した基板を所定温度に冷却する基板冷却装置であって、
前記冷却プレートの内部に中空部を設けるとともに、前記中空部に冷媒の飽和液を充盈することを特徴とする基板冷却装置。
IPC (4件)：
H01L 21/02
, F25B 43/00
, F25B 1/00
, F25B 49/02
H01L21/02 Z
, F25B43/00 K
, F25B1/00 304F
, F25B49/02 510
