特許
J-GLOBAL ID：200903065512965016

耐アーク性高電圧静電スイッチ

発明者：
グッドウィン-ヨハンソン,スコット・ホールデン

グッドウィン-ヨハンソン,スコット・ホールデン について


出願人/特許権者：
エムシーエヌシー

エムシーエヌシー について


代理人 (1件)： 奥山 尚一 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-508469
公開番号（公開出願番号）：特表2003-504800
出願日： 2000年05月04日
公開日（公表日）： 2003年02月04日
要約：
【要約】高電圧を切換えることが可能である一方で、改善された耐アーク性を提供するMEMS(マイクロエレクトロメカニカルシステム)静電作動式装置が提供される。MEMS装置は、超小形電子基板、基板電極、第1の接点組および第2の接点組、絶縁体、および可動複合体を含む。可動複合体は、基板および基板電極に上重ねされる。横断面で見て、可動複合体は、電極層および偏倚層を含んでいる。長さで見て、可動複合体は、下に位置する基板に取付けられている固定部分と、中間部分と、基板電極に対して可動の遠位部分とを含んでいる。各接点組は、可動複合体に取付けられている少なくとも1つの複合体接点と、基板に取付けられている好ましくは少なくとも1つの基板接点とを有する。複数の接点組のうちの1つの接点組は、複合体遠位部分により近く位置する。可動複合体の遠位部分および/または中間部分は、静電気力が印加されない場合、偏倚されて適所に位置する。基板電極と可動複合体電極との間に電圧を印加すると、静電気力が発生され、この静電気力により、可動複合体は下に位置する基板に吸引される。第1および第2の接点組は、可動複合体の遠位部分が基板に吸引されると電気的に接続される。いったん静電気力が除去されると、可動複合体は偏倚位置を再びとり、このようにして、第1および第2の接点組がシーケンシャルに接続解除されて、アーク形成を最小化する。静電式MEMS装置を使用する様々な実施例および方法が提供される。
請求項（抜粋）：
静電気力により駆動されるMEMS装置であって、 平面状表面を形成する超小形電子基板と、 前記基板の表面上に層を形成する基板電極と、 前記基板電極に上重ねされ、かつ電極層と偏倚層とを有する可動複合体であって、下重ねされた前記基板に取付けられている固定部分と、前記基板電極に対して可動の遠位部分とを有する可動複合体と、 前記可動複合体に取付けられている少なくとも1つの複合体接点をそれぞれ有する第1および第2の接点組と、 前記可動複合体の電極層から前記基板電極を電気的に分離する絶縁体と、を含んで成り、 前記各接点組は、前記可動複合体の遠位部分が前記基板に引きつけられた場合に電気的に接続されることを特徴とするMEMS装置
IPC (2件)：
H01H 59/00 ,  B81B 3/00
FI (2件)：
H01H 59/00 ,  B81B 3/00
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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