特許

J-GLOBAL ID：200903065527512034

スピンコート製膜法

発明者： 齋藤 祐弘 ,  江副 利秀 ,  都築 博彦
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-226781
公開番号（公開出願番号）：特開2006-047047
出願日： 2004年08月03日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：

【課題】 膜厚分布の少ない被膜を有するセンサー用固体基板の製造方法、及び膜厚分布の少ない被膜を有するセンサー用固体基板を提供すること。【解決手段】 インナーカップの回転で発生する被製膜基板上の遠心力の分布が、最大となる点での遠心力が最小となる点での遠心力の100倍以下となるようなインナーカップ上の位置に、被製膜基板をセットし、該被製膜基板の表面に塗布液を滴下し、該被製膜基板を回転させることを特徴とする、センサー用固体基板の製造方法。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

インナーカップの回転で発生する被製膜基板上の遠心力の分布が、最大となる点での遠心力が最小となる点での遠心力の100倍以下となるようなインナーカップ上の位置に、被製膜基板をセットし、該被製膜基板の表面に塗布液を滴下し、該被製膜基板を回転させることを特徴とする、センサー用固体基板の製造方法。

IPC (3件)：

G01N 21/27 ,  C12Q 1/00 ,  G01N 33/543

FI (3件)：

G01N21/27 C ,  C12Q1/00 Z ,  G01N33/543 595

Fターム (18件)：

2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059CC17 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ12 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  4B063QA01 ,  4B063QQ01 ,  4B063QQ21 ,  4B063QQ41 ,  4B063QR84 ,  4B063QS36 ,  4B063QX10

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特許第2815120号
  
• 表面プラズモン共鳴バイオセンサー用測定セル及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-076222   出願人：軽部征夫, 大日本印刷株式会社
• 特許第2942213号
  
• 特許第3231970号