特許
J-GLOBAL ID：200903065541740279
アルカリ土類金属の高純度β-ジケトネート錯体およびその製法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-055693
公開番号（公開出願番号）：特開平5-255855
出願日： 1992年03月13日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：
【要約】【目的】 CVD法によって薄層を形成するための原料として有用な、高純度なアルカリ土類金属のβ-ジケトネート錯体を製造する。【構成】 DPMのアセトン溶液とBaCl2のアセトン溶液を混合し、よく攪拌しながら、NaOHのメチルアルコール溶液を滴下して、DPMとBaとを反応させる。図1中(C)に示すように、真空下での熱重量分析によって測定される不純物蒸発量が0.01%未満、キレート蒸発量が99.5%以上で、元素分析によって測定される炭素含有量が理論量の99.1〜101.0%、水素含有量が理論量の99.0〜101.0%、ICP分析によって測定される金属含有量が理論量の99.0〜101.0%である高純度なBa(DPM)2を得る。
請求項（抜粋）：
アルカリ土類金属とβ-ジケトンからなる錯体であって、下記の特性、(1)真空下での熱重量分析によって測定される不純物蒸発量が0.01%未満であること、(2)真空下での熱重量分析によって測定されるキレート蒸発量が99.5%以上であること、(3)元素分析によって測定される炭素含有量が、理論量の99.1〜101.0%であること、(4)元素分析によって測定される水素含有量が、理論量の99.0〜101.0%であること、(5)ICP分析によって測定される金属含有量が、理論量の99.0〜101.0%であることを有するアルカリ土類金属の高純度β-ジケトネート錯体。
IPC (3件)：
C23C 16/18
, C07C 49/92
, C07F 3/00
