特許
J-GLOBAL ID：200903065563327219
アライメント方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 信和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-060383
公開番号（公開出願番号）：特開2007-240676
出願日： 2006年03月07日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：
【課題】 両面が露光される露光基板に対して、簡便でしかも正確なアライメント方法を提供する。【解決手段】 本アライメント方法は、マスク(30)に描かれたパターン(34)を水晶ウエハ(10)の第一面(10A)と第二面(10B)とに露光する際のアライメントである。そしてアライメント方法は、露光基板(10)の第一面10Aと第二面(10B)とに貫通する貫通マーク(21)を形成する貫通マーク形成工程(S51)と、第一面(10A)をマスク(30)に向けて水晶ウエハ(10)を配置しマスク(30)の基準マークと貫通マークとをアライメントする第一アライメント工程(S53)と、第二面をマスク(30)に向けて露光基板を配置しマスク(30)の基準マーク(33)と貫通マーク(21)とをアライメントする第二アライメント工程(S56)とを有する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
原板に描かれたパターンを露光基板の第一面と第二面とに露光する際のアライメント方法において、
前記露光基板の前記第一面と前記第二面とに貫通する貫通マークを形成する貫通マーク形成工程と、
前記第一面を前記原板に向けて前記露光基板を配置し、前記原板の基準マークと前記貫通マークとをアライメントする第一アライメント工程と、
前記第二面を前記原板に向けて前記露光基板を配置し、前記基準マークと前記貫通マークとをアライメントする第二アライメント工程と
を有することを特徴とするアライメント方法。
IPC (4件)：
G03F 9/00
, B81C 1/00
, H01L 41/22
, H01L 41/18
G03F9/00 Z
, B81C1/00
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101A
2H097AA01
, 2H097GA45
, 2H097KA03
, 2H097KA12
, 2H097KA13
, 2H097KA20
, 2H097KA23
