角速度センサ用音叉型水晶振動子及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-087735
公開番号（公開出願番号）：特開2005-134364
出願日： 2004年03月24日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：

【目的】本発明は高精度で製造を容易とする角速度センサ素子及びその製造方法を提供することを目的とする。【構成】音叉状水晶片の長手方向を結晶軸(XYZ)のY軸、幅方向をX軸、厚み方向をZとし、音叉腕の側面のうちの少なくとも1面に互いに電気的に分離された角速度検出用の第1及び第2のセンサ電極を備える角速度センサ用音叉型水晶振動子において、前記音叉状水晶片は単板水晶ウェハからフォトエッチング技術により形成してあり、前記第1及び第2のセンサ電極の形成される音叉腕の側面は水晶の+X面とし、前記+X面に起因して前記側面の長手方向に生じる突起状稜線部の両側に前記第1及び第2のセンサ電極を配置した構成及びその製造方法とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

結晶軸(XYZ)のX軸を幅方向、Y軸を長さ方向、Z軸を厚み方向として一対の音叉腕が音叉基部から延出した音叉状水晶片と、前記音叉腕の側面のうちの少なくとも1面に形成され互いに電気的に分離された角速度検出用の第1及び第2のセンサ電極とを備える角速度センサ用音叉型水晶振動子において、前記音叉状水晶片はフォトエッチング技術により形成してあり、前記第1及び第2のセンサ電極は前記音叉腕の側面のうちの+X面上であって、前記+X面の長さ方向に水晶の結晶性に起因して生じる突起状稜線部の両側に配置されたことを特徴とする角速度センサ用音叉型水晶振動子。

IPC (5件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 , H01L41/18 , H01L41/22

FI (5件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 Z , H01L41/18 101A , H01L41/22 Z

Fターム (6件)：

2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB11 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06

引用特許：

審査官引用 (14件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-099318 出願人：株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所
超音波ジャイロスコープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-211978 出願人：戸田耕司
特開昭54-013286

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