特許
J-GLOBAL ID：200903065564298760
光スイッチ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-005304
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214547
出願日： 2001年01月12日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：
【要約】【課題】 可動部材とミラー部との密着力を確保することが可能であり、かつ低電圧駆動が可能で、高速応答性に優れた光スイッチを提供すること。【解決手段】 スイッチ部60は、ミラー部61と、第1の電極層63と、第2の電極層64と、絶縁層65とを有する。ミラー部61は、第2の波長分離用チャネル導波路511〜51N及び第2の波長合成用チャネル導波路521〜52Nにおける光路に対して進出方向及び退出方向に移動自在に設けられる。また、ミラー部61は、第1の電極層63に立設される薄板状のミラー部材61aと、ミラー部材61aと連続して形成される補強部材61bとを含む。補強部材61bは、ミラー部材61aの両端部に位置し、第1の電極層63に立設される。補強部材61bは円柱形状を呈し、ミラー部材61aの厚さよりも大きな径を有する。補強部材61bの少なくとも一部は、ミラー部材61aの反射面よりも光入射側に突出している。
請求項（抜粋）：
可動部材と、前記可動部材に設けられるミラー部と、を備えた光スイッチであって、前記ミラー部は、前記可動部材に立設される薄板状のミラー部材と、前記ミラー部材と連続して形成されると共に前記ミラー部材の厚さよりも大きな径を有し、前記可動部材に立設される補強部材と、を含んでいることを特徴とする光スイッチ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 26/08 E
, G02B 6/12 F
2H041AA14
, 2H041AB13
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
, 2H047KA03
, 2H047KA12
, 2H047LA19
, 2H047MA05
, 2H047TA11
