特許
J-GLOBAL ID：200903065601572303
基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
吉田 茂明
, 吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-194870
公開番号（公開出願番号）：特開2005-032902
出願日： 2003年07月10日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】基板処理が一時的に停止した場合であっても、処理中基板を効率的に回収することができる基板処理装置を提供する。【解決手段】インデクサ部10および各処理部210〜260は、それぞれ制御部としての不揮発性メモリによって構成されるメモリ51とCPU52とを備える。また、メモリ51には対応する処理部に滞在する基板Wの基板情報データと、当該基板Wの基板処理状況を示すデータおよび受渡し同期信号に対応するデータから構成される処理状況データとが格納される。これにより、瞬断等が発生しても処理状況データを参照することによって各処理部210〜260にて最低限必要となる基板処理を各基板Wの処理状況に応じて決定することができる。そのため、基板処理ユニット200内に滞在する各基板Wを効率的に回収し、基板情報データによって指定されるカセットおよびスロットに収納することができる。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板処理装置であって、
(a) 所定の領域から出て前記所定の領域に戻る所定のルートに沿って配列された複数の処理部を有し、基板に対して各処理部にて順次基板処理を施す基板処理ユニットと、
(b) 前記所定の領域に設けられ、複数の基板を収納するカセット載置部を有するとともに前記基板処理ユニットと前記カセットとの間で基板の受渡しを行う基板受渡しユニットと、
を備え、
前記複数の処理部のそれぞれは、
(a-1) データ格納部を有し、滞在する基板の処理状況を制御する制御部、
を有し、
前記複数の処理部のそれぞれは、隣接する処理部と基板の受渡しを行う際に、受取り側の処理部が有するデータ格納部に基板の属性を示す基板情報データを格納し、
前記制御部は、電源供給が停止した際においても、対応する処理部に滞在する基板情報データを保持しつづけるとともに、前記対応する処理部において現在実行している処理を示す処理状況データを保持しつづけており、
前記基板処理ユニットにおいて基板処理が一時的に停止した後に、前記基板処理ユニットに滞在する処理中基板について、各制御部は、対応するデータ格納部に保持される基板情報データおよび処理状況データに基づいて実行すべき基板処理を決定し、
各複数の処理部は、対応する制御部によって決定された基板処理を前記処理中基板に実行するとともに隣接する処理部に順次受渡すことによって前記基板処理ユニットから前記処理中基板を排出し、前記処理中基板を元のカセットの所定の場所に収納することを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L21/027
, H01L21/02
, H01L21/68
H01L21/30 562
, H01L21/02 Z
, H01L21/68 A
3C100AA29
, 3C100AA47
, 3C100BB33
, 3C100EE06
, 5F031CA01
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031FA01
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031GA02
, 5F031MA03
, 5F031MA09
, 5F031MA11
, 5F031MA23
, 5F031MA24
, 5F031MA26
, 5F031MA27
, 5F031MA30
, 5F031PA02
, 5F031PA04
, 5F031PA05
, 5F031PA09
, 5F031PA10
, 5F046CD05
, 5F046JA22
, 5F046LA18
