特許
J-GLOBAL ID：200903065623124878
形状測定機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-215997
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194152
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 従来不可能であった形状の測定が可能であるとともに、高精度な形状測定を行える形状測定機を提供する。【構成】 Z軸スライダ18に旋回軸34を中心として旋回テーブル20を旋回可能に設け、これに検出器21を取り付ける。検出器の検出可能範囲が旋回軸の中心軸線を含むように検出器の取付位置を規定する。直角形状を測定するには、直角をなす一方の面を測定していき、直角位置まで移動したとき旋回テーブルを略90度旋回させる。そののち、Z軸方向へ相対移動させながら検出器によって被測定物の直角をなす他方の面からの距離を電気信号として検出していけば、直角形状の測定を行うことができる。
請求項（抜粋）：
被測定物を載置するテーブルと検出器取付部材とをX軸方向およびこれに直交するZ軸方向へ相対移動可能に設けるとともに、検出器取付部材に被測定物表面からの距離を電気信号として検出する所定の検出可能範囲を有する検出器を設け、この検出器からの出力と前記相対移動量とから被測定物の形状を測定する形状測定機において、前記検出器取付部材に前記X軸方向およびZ軸方向に対してそれぞれ直交する旋回軸を中心として旋回テーブルを旋回可能に設け、この旋回テーブルに前記検出器を取り付けるとともに、この検出器の検出可能範囲が前記旋回軸の中心軸線を含むように検出器の取付位置を規定した、ことを特徴とする形状測定機。
IPC (2件)：
引用特許：
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