特許
J-GLOBAL ID：200903065624092287
ウエハの加工方法及び平面研削盤及びワークレスト
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新井 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-116477
公開番号（公開出願番号）：特開平10-291146
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】 ウエハの両面を同時に研削加工する際ワークの板面位置を一定にする。【解決手段】 ワーク17(ウエハ)の中心OWをとおるようにカップ砥石台3で研磨する。カップ砥石径をワークのほぼ2分の1とすると、ワークが砥石からはみ出る。このはみ出た部分を流体静圧スライド77で両面から支持する。ワークの板面が定位置に保持され、静圧軸受のため振動しない。
請求項（抜粋）：
インゴットから切断後のウエハの加工方法において、ウエハを保持してウエハを回転するワーク支持部材と、砥石端面を対向させて砥石端面で研削を行う両頭平面研削盤と、ウエハと砥石端面の接触部の砥石外周側からはみ出たウエハの面を保持するワークレストを準備して、ワーク支持部材でウエハを回転駆動すると共にワークレストでウエハを保持して、ウエハの中心を砥石研削作用面がとおるように砥石をウエハの両面に作用させて研削を行うことを特徴とするウエハの加工方法。
IPC (2件)：
B24B 7/17
, H01L 21/304 331
B24B 7/17 A
, H01L 21/304 331
