特許

J-GLOBAL ID：200903065625812151

検査装置

発明者： 鈴木 保之 ,  宮下 丈人 ,  今井 裕 ,  松山 敏伸
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-375344
公開番号（公開出願番号）：特開2001-188051
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：

【要約】【課題】 塵埃等による影響を抑え、被検査物のより高分解能での検査を行う。【解決手段】 被検査物の画像を撮像し、この画像を処理して解析することにより、被検査物の検査を行う検査装置であって、被検査物の画像を撮像する撮像手段と、照明光により照明された被検査物の像を撮像手段の撮像素子上に結像させる結像レンズと、被検査物の画像が取り込まれる撮像手段の前面に一体に設けられ、結像レンズを透過した被検査物の像を撮像手段の前面へと導く密閉された覆いとを備える。

請求項（抜粋）：

被検査物の画像を撮像し、この画像を処理して解析することにより、被検査物の検査を行う検査装置において、上記被検査物の画像を撮像する撮像手段と、照明光により照明された上記被検査物の像を上記撮像手段の撮像素子上に結像させる結像レンズと、上記被検査物の画像が取り込まれる上記撮像手段の前面に一体に設けられ、上記結像レンズを透過した被検査物の像を上記撮像手段の前面へと導く密閉された覆いとを備えることを特徴とする検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J

Fターム (40件)：

2G051AA51 ,  2G051AB20 ,  2G051AC02 ,  2G051BA05 ,  2G051BA08 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051DA03 ,  2G051DA06 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051FA10 ,  4M106AA01 ,  4M106BA07 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB08 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DB16 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ24 ,  4M106DJ26

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光学式読取装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-113909   出願人：株式会社三協精機製作所
• 光学式欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-154164   出願人：株式会社日立製作所
• 画像生成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-017171   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 特開平4-165641