特許
J-GLOBAL ID：200903027926385446
光学式欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-154164
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344447
出願日： 1998年06月03日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】微細なパターンを有する被検査対象の微細な欠陥を検出するためには、高解像度の画像入力系が必要であり、高解像度化を図るためには短波長照明での画像入力が必要となるが、通常のCCDセンサでは短波長光に対して感度がないため検出できない。【解決手段】被検査対象物に対して、短波長照明を照射し、その反射光を検出光学系で結像させたCCDイメージセンサとして、短波長光に対して感度があり、広ダイナミックレンジの裏面照射型CCDを用いたTDIイメージセンサを用いて画像を入力することで、短波長光の画像を得る。
請求項（抜粋）：
繰り返しパターンを有する検査対象に対し、検査対象部を照射するための照明系と、該照明系からの反射光像を結像する検出光学系と、該光学系の像を電気信号に変換するイメージセンサと、イメージセンサからのアナログ出力信号をデジタル信号に変換するAD変換部と、該検出画像信号を参照用画像と比較をして欠陥部を検出する欠陥検出手段を備えたものにおいて、イメージセンサとして裏面照射型CCDイメージセンサを用いたTDIセンサを使用することを特徴とする光学式欠陥検査装置。
引用特許：
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