低温トラップ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯阪泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-158003
公開番号（公開出願番号）：特開平6-341375
出願日： 1993年06月02日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】[目的] 真空バルブを使用しないで所要の作業を効率よく行えるように低温トラップを真空装置に取り付けることを目的とする。[構成] 低温トラップ21のトラップ面22を小型ヘリウム冷凍機23の1段ステージ23aで直接冷却されるように取り付けることにより、常にトラップ面22を冷却し、トラップ面22の温度は真空装置20内が大気圧になっても水を排気できる温度を維持できるように、又は、真空装置20内が大気圧から再び所定の圧力に排気されるまでの間に水を排気できる温度に到達できるように低温トラップ21のトラップ面22の面積を調節する。

請求項（抜粋）：

トラップ本体と該トラップ本体を冷却する冷凍機とから成り、真空装置に接続された低温トラップにおいて、前記トラップ本体のトラップ面は直接、前記真空装置内に面するように配設され、前記冷凍機は常時運転され前記トラップ本体を直接冷却するように取り付け、前記真空装置内の圧力が大気圧に昇圧しても前記トラップ面の温度は、前記真空装置が作業時に必要とする圧力での液体飽和蒸気圧に対応する温度に、前記真空装置が減圧される途中で達するような温度より高く昇温しないように、該トラップ面の面積又は前記冷凍機の能力が調節されていることを特徴とする低温トラップ。

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開平3-151578
特開平4-330387
特開平4-187873

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