特許

J-GLOBAL ID：200903065733729341

ラビング処理装置

発明者： 雙松 章浩 ,  長谷川 久也 ,  福島 裕二
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-243434
公開番号（公開出願番号）：特開平6-095119
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 基板毎に適正なギャップ値をフィードバック制御することができ、常に安定したラビング処理を行う。【構成】 ラビング処理を行う前に、計測手段5によって基板の表面の垂直方向での位置を測定し、その値を電気量に変換して中央演算処理装置2へ出力する。中央演算処理装置2は、基板表面の測定値をランダムアクセスメモリ6に一旦記憶させる。リードオンリメモリ3には、適正なラビング圧が得られるように予め測定された基板とラビングローラとの間のギャップ値が記憶されており、これらの値に基づいて昇降させるべきステージの変位量を算出する。この変位量に相当する高さ分だけ前記昇降駆動機構9によってステージを昇降させる。さらに、ステージ台水平移動機構8を駆動させることによって、基板がラビングローラに近接し、ローラ回転駆動機構7によって回転駆動するラビングローラが適正なラビング圧を保持して基板をラビング処理する。

請求項（抜粋）：

板状体の表面にラビング処理を行うラビング処理装置において、前記板状体の表面を一定方向にラビングする手段と、前記板状体と前記ラビング手段とを相対的に近接/離反変位駆動する変位駆動手段と、ラビング処理前における前記板状体の表面の垂直方向での位置を測定し、その測定値を出力する計測手段と、前記ラビング手段と前記板状体との間の予め定められた距離を記憶するメモリと、前記計測手段からの出力に応答して、前記計測手段によって測定された前記測定値と前記メモリに記憶された距離とに基づいて演算し、前記変位駆動手段にその演算結果に対応する駆動信号を出力する制御手段とを含むことを特徴とするラビング処理装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-054418
  
• 特開平4-155313
  
• 液晶配向膜のラビング処理法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-045321   出願人：松下電器産業株式会社