特許
J-GLOBAL ID：200903065742765970

パターン自動検査装置

発明者：
本田 哲行

本田 哲行 について


出願人/特許権者：
日本アビオニクス株式会社

日本アビオニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-267637
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097874
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】 テーブルの数を削減しオーバーハング量を低減することにより、作動時の振動等による影響が少なく精密な画像の撮像を可能にすると共に、テーブル機構全体の軽量化、部品点数の削減を図る。【解決手段】 Y軸テーブル50上に固定フレーム48を介してZ軸テーブル21を搭載する。Z軸テーブル21の前面にX方向に移動自在な第1、第2のS軸テーブル23,24を搭載する。第1、第2のS軸テーブル23,24の前面にラインセンサカメラ4A,4Bをそれぞれ搭載する。第1、第2のS軸テーブル23,24をS軸用駆動装置26によって連結し、これにより第2のS軸テーブル24を第1のS軸テーブル23に対して接近または離間させる。Z軸テーブル21と第1のS軸テーブル23をX軸用駆動装置31によって連結し、これによって第1、第2のS軸テーブル23,24を一定の間隔を保ったまま同時にX軸方向に移動させる。
請求項（抜粋）：
Y軸方向に移動自在なY軸テーブルと、このY軸テーブルをY軸方向に移動させるY軸用駆動装置と、前記Y軸テーブル上にZ軸方向に移動自在に配設されたZ軸テーブルと、このZ軸テーブルをZ軸方向に移動させるZ軸用駆動装置と、前記Z軸テーブルに並設されたX軸方向に移動自在な第1、第2のS軸テーブルと、これらのS軸テーブルにそれぞれ配設された第1、第2のカメラと、前記Z軸テーブルに搭載され前記第1、第2のS軸テーブルをX軸方向に同時に移動させるX軸用駆動装置と、前記第1のS軸テーブルに配設され前記第2のS軸テーブルをX軸方向に移動させるS軸用駆動装置とを備えたことを特徴とするパターン自動検査装置。
Fターム (15件)：
2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AC15 ,  2G051BA20 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G051DA09 ,  2G051DA15 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • パターン撮像装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-220495   出願人：日本アビオニクス株式会社
審査官引用 (1件)
  • パターン撮像装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-220495   出願人：日本アビオニクス株式会社

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