特許
J-GLOBAL ID：200903085312487277
パターン撮像装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
功力 妙子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-220495
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048147
出願日： 1996年08月03日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 TABテープ自動検査装置において用いられるパターン撮像装置を提供する。【解決手段】 筐体1の水平面内に配置された一対のY軸駆動手段2と,このY軸駆動手段間に配置され,Y軸方向に摺動する第1の枠体9と,この第1の枠体のY軸駆動手段に直交する内面に配置された一対のX軸駆動手段10と,X軸方向に摺動する第1および第2のカメラ搭載架台17,18と,この一対のカメラ搭載架台のX軸駆動手段に直交する内面に対向させて垂直に配置された一対のZ軸駆動手段31と,Z軸方向に摺動する一対のカメラ取付板32と,この一対のカメラ取付板にそれぞれ撮像レンズを上向きにして垂直に配置された一対のラインセンサカメラ39と,この第1および第2のカメラ搭載架台17,18を互いに離合させる一対の離合手段30とを備える。
請求項（抜粋）：
筐体の水平面内に配置された一対のY軸駆動手段と,このY軸駆動手段間に配置され,このY軸駆動手段に係合してY軸方向に摺動する第1の枠体と,この第1の枠体の前記Y軸駆動手段に直交する内面に配置された一対のX軸駆動手段と,このX軸駆動手段間に配置され,このX軸駆動手段に係合してX軸方向に摺動する第1および第2のカメラ搭載架台と,この一対のカメラ搭載架台の前記X軸駆動手段に直交する内面に対向させて垂直に配置された一対のZ軸駆動手段と,このZ軸駆動手段にそれぞれ対向して配置され,このZ軸駆動手段に係合してそれぞれZ軸方向に摺動する一対のカメラ取付板と,この一対のカメラ取付板にそれぞれ撮像レンズを上向きにして垂直に配置された一対のラインセンサカメラと,前記第1および第2のカメラ搭載架台の両端部近傍に前記X軸方向に平行に前記第1および第2のカメラ搭載架台にそれぞれ架設され,この第1および第2のカメラ搭載架台を互いに離合させる一対の離合手段とを備えたことを特徴とするパターン撮像装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 F
, G06F 15/62 405 A
