特許

J-GLOBAL ID：200903065743993225

2段式真空ポンプ

発明者： 藤井 理之
出願人/特許権者： ナブテスコ株式会社
代理人 (1件)： 木下 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-085230
公開番号（公開出願番号）：特開2007-262906
出願日： 2006年03月27日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：

【課題】反応生成物が付着、堆積、析出し難い2段式真空ポンプを提供する。【解決手段】ブースタポンプ10と、前記ブースタポンプに接続されるメインポンプ30と、前記ブースタポンプとメインポンプとを接続する中間配管50とを備えた真空ポンプ1において、前記ブースタポンプ10のケーシング13、下部端面フランジ16、前記中間配管50に加熱手段25、27、52を設けると共に、メインポンプ30のケーシング32に冷却手段60が設けられ、前記ブースタポンプ10、中間配管50を強制加熱するとともに、メインポンプ30を強制冷却し、ブースタポンプ10、中間配管50、メインポンプ30を所定温度範囲内に維持する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

真空チャンバに接続されるブースタポンプと、このブースタポンプに接続され、大気側に吐出するメインポンプとを有し、前記ブースタポンプの吐出口とメインポンプの吸気口とが中間配管を介して接続されている2段式真空ポンプにおいて、 前記ブースタポンプのポンプ室側面を覆うケーシング及び吐出口側のポンプ室端面を覆う端面フランジ並びに前記中間配管の外周面に加熱手段を設けると共に、前記メインポンプのポンプ室側面を覆うケーシングに冷却手段を設け、 前記加熱手段により、前記ブースタポンプのポンプ室から中間配管に至る排気経路を強制加熱し、かつ前記冷却手段により、前記メインポンプのポンプ室を強制冷却することを特徴とする2段式真空ポンプ

IPC (6件)：

F04B 37/14 ,  F04C 18/16 ,  F04C 25/02 ,  F04C 23/00 ,  F04C 29/04 ,  F04B 37/16

FI (6件)：

F04B37/14 ,  F04C18/16 F ,  F04C25/02 M ,  F04C23/00 D ,  F04C29/04 H ,  F04B37/16 D

Fターム (15件)：

3H029AA03 ,  3H029AA09 ,  3H029AA13 ,  3H029AB06 ,  3H029AB08 ,  3H029BB12 ,  3H029BB13 ,  3H029BB43 ,  3H029CC23 ,  3H029CC46 ,  3H029CC56 ,  3H076AA12 ,  3H076AA21 ,  3H076BB03 ,  3H076CC51

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平02-294574号公報
  
• 真空ポンプ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-264327   出願人：株式会社豊田自動織機