特許

J-GLOBAL ID：200903022383797020

真空ポンプ装置

発明者： 藏本 覚 ,  川口 真広 ,  山本 真也 ,  星野 伸明 ,  井田 昌宏
出願人/特許権者： 株式会社豊田自動織機
代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-264327
公開番号（公開出願番号）：特開2004-100594
出願日： 2002年09月10日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】多段式のメインポンプの熱を効率良くブースタポンプに伝達することが可能な真空ポンプ装置を提供すること。【解決手段】真空ポンプ装置は、第1ハウジングH1内に多段式の第1ポンプ機構P1を収容してなるメインポンプ11の上に、第2ハウジングH2内に第2ポンプ機構P2を収容してなるブースタポンプ61が載置固定されてなる。メインポンプ11とブースタポンプ61とは、当該ブースタポンプ61をガス流に関する上流側として直列に連結されている。第1ハウジングH1と第2ハウジングH2とは、メインポンプ11の上においてブースタポンプ61を支持する支持部67を介して熱的に結合されている。支持部67は、第1ハウジングH1に対しては、第1ポンプ機構P1の最後段のポンプ室55を取り囲む部位46と熱的に直結されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

第1ハウジング内に多段式の第1ポンプ機構を収容してなるメインポンプと、第2ハウジング内に第2ポンプ機構を収容してなるブースタポンプとが、当該ブースタポンプをガス流に関する上流側として直列に連結されてなる真空ポンプ装置であって、 前記第1ハウジングと第2ハウジングとは結合部材を介して熱的に結合されており、当該結合部材は、第1ハウジングに対しては、第1ポンプ機構の最後段を取り囲む部位と熱的に直結されていることを特徴とする真空ポンプ装置。

IPC (6件)：

F04B37/16 ,  F04B37/14 ,  F04C18/18 ,  F04C23/00 ,  F04C25/02 ,  F04C29/00

FI (7件)：

F04B37/16 D ,  F04B37/14 ,  F04C18/18 C ,  F04C23/00 D ,  F04C25/02 K ,  F04C29/00 B ,  F04C29/00 J

Fターム (24件)：

3H029AA06 ,  3H029AA16 ,  3H029AB06 ,  3H029BB11 ,  3H029BB16 ,  3H029BB41 ,  3H029CC09 ,  3H029CC10 ,  3H029CC24 ,  3H029CC25 ,  3H076AA00 ,  3H076AA21 ,  3H076BB03 ,  3H076BB10 ,  3H076BB28 ,  3H076BB43 ,  3H076CC13 ,  3H076CC46 ,  3H076CC47 ,  3H076CC51 ,  3H076CC92 ,  3H076CC93 ,  3H076CC94 ,  3H076CC95

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 真空ポンプの連結装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-254686   出願人：株式会社荏原製作所
• 真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-120927   出願人：日本真空技術株式会社
• 多段スクリュー真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-194824   出願人：株式会社荏原製作所
• 多段式真空ポンプ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-194823   出願人：株式会社荏原製作所