特許
J-GLOBAL ID:200903065820977238
欠陥検出装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山川 政樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-021392
公開番号(公開出願番号):特開2000-221139
出願日: 1999年01月29日
公開日(公表日): 2000年08月11日
要約:
【要約】【課題】 検査対象物の照度の違いに影響されずに欠陥を高精度で検出する。搬送されてくる検査対象物を一時的に止めることなく欠陥を検出する。複数種類の検査対象物に対して、複数種類分の検査対象物の正常な画像を登録することなく、またこれから検査する対象物の種類を判別することなく、欠陥を検出する。【解決手段】 検査対象物(錠剤のブリスタパックの裏面に貼られたアルミ箔)1-1の表面の第1の領域S1と第2の領域S2の画像を取り込み、この取り込んだ画像を位相限定相関法(フーリエ変換→合成→位相限定→逆フーリエ変換→相関値の算出)によって照合し、この照合過程で得られる相関値に基づいて検査対象物1-1の表面に欠陥が生じているか否かを判定する。
請求項(抜粋):
検査対象物の表面の第1の領域と第2の領域の画像を取り込む撮像手段と、この撮像手段によって取り込まれた第1の領域の画像と第2の領域の画像とにフーリエ変換を施し両者の相関をとって照合する照合手段と、この照合手段の照合過程で得られる相関値に基づいて前記検査対象物の表面に欠陥が生じているか否かを判定する欠陥判定手段とを備えたことを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (4件):
G01N 21/88
, G01N 21/85
, G01N 21/89
, G06T 7/00
FI (5件):
G01N 21/88 J
, G01N 21/85 A
, G01N 21/89 610 Z
, G06F 15/62 405 A
, G06F 15/70 460 B
Fターム (25件):
2G051AA01
, 2G051AA02
, 2G051AA90
, 2G051AB10
, 2G051AB20
, 2G051AC21
, 2G051CA04
, 2G051EA12
, 2G051EC07
, 2G051EC10
, 2G051ED11
, 5B057AA02
, 5B057BA02
, 5B057CC03
, 5B057CD01
, 5B057CG05
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC22
, 5L096AA06
, 5L096BA03
, 5L096BA18
, 5L096FA23
, 5L096FA34
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開昭60-190360
-
模様検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-288082
出願人:山武ハネウエル株式会社
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