特許

J-GLOBAL ID：200903065831840455

レーザー加工装置

発明者： 武田 昇 ,  森數 洋司 ,  源田 悟史
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-017815
公開番号（公開出願番号）：特開2006-205187
出願日： 2005年01月26日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：

【課題】 レーザー光線が照射されても発熱を抑えることができるチャックテーブルを備えたレーザー加工装置を提供する。【解決手段】 被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段を具備するレーザー加工装置であって、チャックテーブルは本体と該本体の上面に配設された通気性を有する被加工物保持部材とからなっており、被加工物保持部材は所定の波長を有するレーザー光線に対して透過性を有する材料によって形成されている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段とを相対的に加工送りする加工送り手段と、を具備するレーザー加工装置において、 該チャックテーブルは本体と該本体の上面に配設された通気性を有する被加工物保持部材とからなっており、該被加工物保持部材は所定の波長を有するレーザー光線に対して透過性を有する材料によって形成されている、 ことを特徴とするレーザー加工装置。

IPC (1件)：

B23K 26/10

FI (1件)：

B23K26/10

Fターム (8件)：

4E068CA02 ,  4E068CA03 ,  4E068CA04 ,  4E068CA07 ,  4E068CA15 ,  4E068CC02 ,  4E068CE05 ,  4E068DB13

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 酸化物単結晶からなる母材の加工方法、機能性デバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-220320   出願人：日本碍子株式会社
• レーザビームを使用した加工機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-131776   出願人：株式会社ディスコ