特許

J-GLOBAL ID：200903065844258348

FOUP内ガス置換装置

発明者： 上村 正
出願人/特許権者： 上村 正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-321820
公開番号（公開出願番号）：特開2004-128428
出願日： 2002年09月30日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】FOUPを真空容器に入れ、真空容器とFOUP内を連通させ圧力差が生じないようにした上で真空排気し、不活性ガスによるガス置換することで、FOUP内の雰囲気を真空容器の容積とほぼ等しい不活性ガスの消費量と不活性ガス供給源とほぼ等しい濃度の不活性ガスで置換するとともにガス置換するFOUPのハンドリングが自動化可能となる手段を提供する。【解決手段】真空容器6内にFOUP1パージポートの封じ栓17の開閉機構10を取り付け、真空容器6の前面フランジ8および背面フランジ9にはフランジ開閉機構を有する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

FOUP1内の雰囲気を不活性ガスに置換する場合に、FOUP1を真空容器6に入れ、FOUP1のパージポートの封じ栓17を開閉することにより真空容器6とFOUP1内を連通し、真空排気および不活性ガス導入によりFOUP1内の雰囲気を不活性ガスに置換することを特徴としたFOUP内ガス置換装置。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/68 T

Fターム (23件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA14 ,  5F031EA18 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA05 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA25 ,  5F031GA48 ,  5F031GA55 ,  5F031JA10 ,  5F031JA17 ,  5F031JA47 ,  5F031MA15 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031NA10 ,  5F031NA20

引用特許：

審査官引用 (1件)

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  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-123229   出願人：三菱マテリアルシリコン株式会社