特許
J-GLOBAL ID：200903069640062741
ウェーハ収納方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安倍 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-123229
公開番号（公開出願番号）：特開平11-317442
出願日： 1998年05月06日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】【課題】 ごみ類の侵入を防ぎながらウェーハケース内に不活性ガスを充填するウェーハ梱包方法およびこれに用いられるウェーハケースを提供する。【解決手段】 真空容器30内にウェーハケース10を配置する。次に、真空容器30を減圧すると、容器30内の空気が排出され、同時にフィルタユニット15によりケース内の空気が抜き出され、減圧される。その後、真空容器30内にN2ガスを入れると容器30がこのN2ガスで満たされると同時に、フィルタユニット15を通して、このケース内にもN2ガスが充填される。このように、ウェーハケース10にフィルタユニット15を設けたので、真空容器30内のごみ類の侵入を防ぎながらケース内にN2ガスを充填できる。
請求項（抜粋）：
密封状態ではフィルタを介してのみ気体が流出入可能としたウェーハケースを準備する工程と、このウェーハケース内に半導体ウェーハを収納して密封する工程と、半導体ウェーハが収納されたウェーハケースを、密閉された空間の内部に配置する工程と、このウェーハケースが配置された密閉空間を減圧することにより、ウェーハケースの内部気体を上記フィルタからウェーハケースの外部へ排出し、このウェーハケースの内部を減圧する工程と、この減圧工程後、上記密閉空間内に不活性ガスを供給することにより、上記フィルタを通して上記ウェーハケースの内部に不活性ガスを充填する工程とを備えたウェーハ収納方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65B 31/04
, B65D 85/86
H01L 21/68 T
, B65B 31/04 Z
, B65D 85/38 R
