特許

J-GLOBAL ID：200903065933734870

荷電粒子線装置

発明者： 天野 繁 ,  沈 国華 ,  古瀬 晴邦
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-166076
公開番号（公開出願番号）：特開2002-358920
出願日： 2001年06月01日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】 排気コンダクタンス調整機構を複雑化することなく装置全体の小型化が図られ、また、集束レンズ系の大幅な調整作業を必要としない荷電粒子線装置を提供すること。【解決手段】 本体31の内部において荷電粒子線発生部32、鏡筒部33及び試料室34を各々区画する第1,第2の仕切板W1,W2に通孔H1,H2を形成すると共に、本体31に対して相対移動する開閉弁V1,V2でもって、通孔H1,H2の開閉を行い、本体31内部の排気コンダクタンスを調整できるようにする。

請求項（抜粋）：

試料が設置される試料室と、前記試料に照射する荷電粒子線を発生させるための荷電粒子源を有する荷電粒子線発生部と、前記試料室と前記荷電粒子線発生部との間に配置され前記荷電粒子線を前記試料表面に集束させるための集束レンズ系を有する鏡筒部と、前記荷電粒子源及び前記鏡筒部を真空排気するための第1の真空排気手段と、前記試料室、前記荷電粒子線発生部及び前記鏡筒部を粗排気するための第2の真空排気手段とを備えた荷電粒子線装置において、前記試料室と前記荷電粒子線発生部との間を連通させるガス排気用の排気通路と、前記試料室、前記荷電粒子線発生部及び前記鏡筒部のそれぞれに対して相対移動可能に配置され前記排気通路を開閉する開閉弁とを備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。

Fターム (1件)：

5C033KK06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 荷電粒子線装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-147545   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭51-131267