特許
J-GLOBAL ID：200903065943544735

ドライクリーニング方法

発明者：
荒木 衛

荒木 衛 について


出願人/特許権者：
九州日本電気株式会社

九州日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-363390
公開番号（公開出願番号）：特開2001-176843
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 ウエハ上に形成されたアルミ積層膜のドライエッチングの際、エッチングチャンバー内に堆積するデポジション物質の膜質を均一にして堆積物の剥離を抑制し、ウエハ上への異物付着を低減する。【解決手段】 エッチングチャンバー内に付着したデポジション物質であるアルミ成分およびフロロカーボンに対し、まず塩素イオンまたは塩素ラジカルを反応させてアルミ成分を除去するドライクリーニング処理を行ない、引き続き残ったフロロカーボンに対し新たにフロロカーボンを再付着させるシーズニング処理を行なって、デポジション膜質を均一化させる。
請求項（抜粋）：
アルミ積層膜が形成され、その上にフォトレジスト膜が形成されたウエハに対し、塩素系ガスとフッ素系ガスの混合ガスを用いてプラズマによりドライエッチングを行ない、その際使用したドライエッチング装置のエッチングチャンバー内に付着したデポジション物質のドライクリーニングを行なうドライクリーニング方法において、前記エッチングチャンバー内に付着したデポジション物質であるアルミ成分およびフロロカーボンに対し、まず塩素イオンまたは塩素ラジカルを反応させてアルミ成分を除去するドライクリーニング処理を行ない、引き続き残ったフロロカーボンに対し新たにフロロカーボンを再付着させるシーズニング処理を行なって、デポジション膜質を均一化させることを特徴とするドライクリーニング方法。
Fターム (12件)：
5F004AA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB18 ,  5F004BB29 ,  5F004BD02 ,  5F004CA02 ,  5F004CA03 ,  5F004DA04 ,  5F004DA11 ,  5F004DA16 ,  5F004DB00
引用特許：
審査官引用 (4件)
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