特許

J-GLOBAL ID：200903066004932206

浮遊砥粒式研磨装置

発明者： 清水 洋
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-262624
公開番号（公開出願番号）：特開平7-112365
出願日： 1993年10月20日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：

【要約】【目的】ワークが欠けたり割れたりした際に、異常の初期に異常として検出することができる検出装置を備えた浮遊砥粒式研磨装置を提供することにある。【構成】上下定盤と、該上下定盤の間に配置され、ワークを保持する保持穴を備えた遊星ギヤと、該遊星ギヤと噛み合う太陽ギヤ及びリングギヤとを備え、該太陽ギヤ及びリングギヤの少なくとも一方を回転させることにより、前記遊星ギヤを自転、又は自転及び公転させ、スラリー状砥粒を介して、前記ワークと前記上下定盤とを摺動させることにより、前記ワークを研磨する浮遊砥粒式研磨装置において、前記定盤に該定盤の振動信号を検出する振動検出手段を設け、該振動検出手段に前記振動信号を増幅する増幅手段を接続するとともに、該増幅手段に前記増幅された振動信号を基準信号と比較する比較手段を接続したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

上下定盤と、該上下定盤の間に配置され、ワークを保持する保持穴を備えた遊星ギヤと、該遊星ギヤと噛み合う太陽ギヤ及びリングギヤとを備え、該太陽ギヤ及びリングギヤの少なくとも一方を回転させることにより、前記遊星ギヤを自転、又は自転及び公転させ、スラリー状砥粒を介して、前記ワークと前記上下定盤とを摺動させることにより、前記ワークを研磨する浮遊砥粒式研磨装置において、前記定盤に該定盤の振動信号を検出する振動検出手段を設け、該振動検出手段に前記振動信号を増幅する増幅手段を接続するとともに、該増幅手段に前記増幅された振動信号を基準信号と比較する比較手段を接続したことを特徴とする浮遊砥粒式研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  B24B 49/10

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 圧電体の研磨制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平2-412942   出願人：日本電波工業株式会社
• 特開昭63-114869
  
• 特開昭63-114869
  
• 特開昭61-265268