特許
J-GLOBAL ID：200903066019967944
脱気装置及び脱気方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清原 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-202447
公開番号（公開出願番号）：特開平11-028307
出願日： 1997年07月10日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】 1台の脱気装置で、様々な処理液量に対応することが可能で、複数種類の処理液を同時に脱気処理することができ、しかも処理液の性状の違いに柔軟に対応可能で、さらには処理液の様々な供給方法、取り出し方法に適応することができる汎用性に優れた脱気装置及び脱気方法を提供すること【解決手段】 1つの真空チャンバー内に、両端部に継手が接続された接合部材が設けられてなる1本又は2本以上の気体透過性チューブからなる脱気エレメントが2つ以上配設されてなることを特徴とする脱気装置とした。
請求項（抜粋）：
1つの真空チャンバー内に、両端部に継手が接続された接合部材が設けられてなる1本又は2本以上の気体透過性チューブからなる脱気エレメントが2つ以上配設されてなることを特徴とする脱気装置。
IPC (2件)：
B01D 19/00
, B01D 19/00 101
B01D 19/00 H
, B01D 19/00 101
