特許

J-GLOBAL ID：200903066031290917

表面形状測定装置および表面形状測定方法

発明者： 保坂 光太郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-353099
公開番号（公開出願番号）：特開2005-121370
出願日： 2003年10月14日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

【課題】 測定対象表面の起伏の傾斜角度を求めて高精度な表面形状計測を行う。【解決手段】 変位センサA3および変位センサB4を保持するセンサユニットをX軸スライド7に沿って走査させ、走査中のセンサユニットの傾斜角度をX軸スライド7の一端に配設されたレーザ測長器用光源10、レーザ測長器用干渉計11およびセンサユニット側のターゲットミラー12からなるレーザ測長器によって計測するとともに、変位センサA3および変位センサB4によって各センサ間隔毎に得られるZ軸方向の離間距離のデータに基づいて、測定対象W1 の表面起伏の傾斜角度を求める。センサ間隔毎の各測定地点において、レーザ測長器による角度データを両変位センサ3、4の出力の差に基づく角度データに加算し、その累積から測定対象W1 の表面形状を表わす形状データを演算する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被測定面の異なる部位との離間距離をそれぞれ検出する少なくとも2個の変位センサを所定の走査方向に所定のセンサ間隔で保持するセンサユニットと、前記センサユニットを前記走査方向に走査させて前記センサ間隔毎に前記2個の変位センサによる前記離間距離のデータを得るための走査ステージと、前記走査ステージ上の前記センサユニットの傾斜角度を計測する角度計測手段と、前記2個の変位センサによる前記離間距離のデータの差を前記センサユニットの傾斜角度に換算して得られた第1の角度データと、前記角度計測手段による第2の角度データに基づいて前記被測定面の形状データを得る演算手段とを備えたことを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B21/20 ,  G01B11/24 ,  G01B11/26

FI (3件)：

G01B21/20 101 ,  G01B11/26 Z ,  G01B11/24 A

Fターム (24件)：

2F065AA37 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065FF55 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL12 ,  2F065MM07 ,  2F065PP04 ,  2F065SS13 ,  2F065UU03 ,  2F069AA66 ,  2F069AA78 ,  2F069AA93 ,  2F069DD15 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ07 ,  2F069QQ10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 平面度測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-348702   出願人：中央精機株式会社